大于0.5mm的黑点,偏差可以在20%左右,以下的就会偏大或偏小,针孔100um左右是可以在20%的偏差范围内,小的可以检测出来,比如20um的,但是尺寸不准确,差异大
嘉元铜箔的验证结果
!%%%%[[imags/894c77e4a017110cc655848cea547c6e_.png]]%% TODO: 附件不存在%% TODO: 附件不存在
另外一个客户用实际缺陷做的验证,差异更大
![[imags/8b4b3d51cfc96d29f674b0e811ba05e4_.png]]
我们分析的原因可能有:
1、尺寸小,每误判一个像素差异就大 2、由于速度快,采用了压缩检测,复原后存在面积差异 3、算法提取与人眼有差距,算法基于灰度
张芷铭的个人博客
Comments